Газовые системы и оборудование для микроэлектроникиinfo@npp-uvn.ru+7 499 954-86-55

НПП «УВН» / Оборудование

Оборудование для точных процессов

Дисковая резка, вакуумные установки, подготовка пластин, шлифовка, полировка и комплектующие. Выберите направление и откройте карточку оборудования, чтобы изучить характеристики.

Всё оборудованиеПозиций: 23
Вакуумные фитинги и комплектующие KF / ISO / CFВыбрать изделие, размер и собрать запрос КП ↗
Дисковая резкаQSD0620 / QSD0630

Qisheng · 琦升精密

Прецизионная дисковая резка

QSD0620 / QSD0630

Ø6″ / 160×160 мм
Дисковая резкаQSD1030

Qisheng · 琦升精密

Резка крупноформатных пластин

QSD1030

Ø12″ / 300×300 мм
Подготовка пластинQSF-08A

Серия QSF · изготовитель уточняется в предложении

Нанесение защитной плёнки

QSF-08A

Blue / UV / PET
Подготовка пластинQSW-12A

Серия QSW · изготовитель уточняется в предложении

Очистка и сушка пластин

QSW-12A

Пластины до 12″
Подготовка пластинQSP-12A

Серия QSP · изготовитель уточняется в предложении

UV-дебондинг

QSP-12A

Пластины до 12″
Вакуум и плазма«Бета» · системы PVD

НПП «УВН» · «Бета» · MagniFlex

Магнетронное напыление

«Бета» · системы PVD

Бета-500: зона 500×300 мм · 1–3 магнетрона
Вакуум и плазмаПлазмохимическое травление

НПП «УВН» · подбор технологического решения

Лабораторные и кластерные системы

Плазмохимическое травление

TCP / CCP
Оснастка и расходникиШпиндели и фланцы

Подбор по производителю и модели установки

Оснастка для дисковой резки

Шпиндели и фланцы

До 60 000 об/мин
Оснастка и расходникиАлмазные диски

Производитель согласуется при подборе

Расходные материалы

Алмазные диски

Metal / Resin / Electroplated
Вакуум и плазма«Гамма»

НПП «УВН» · «Гамма» · MagniFlex

Оптические покрытия

«Гамма»

Гамма-700 / Гамма-900
Вакуум и плазма«Сигма»

НПП «УВН» · «Сигма» · DynaArc / RotArc

Функциональные покрытия

«Сигма»

Сигма-700 / Сигма-900
Вакуум и плазма«Омега»

НПП «УВН» · «Омега»

Исследовательские вакуумные стенды

«Омега»

Индивидуальное техническое задание
Вакуумные комплектующиеВакуумные камеры на заказ

НПП «УВН»

Камеры и корпусные узлы по техническому заданию

Вакуумные камеры на заказ

Размеры и конфигурация под установку
Источники напыленияМагнетроны MagniFlex

НПП «УВН»

Источники магнетронного распыления

Магнетроны MagniFlex

Геометрия мишени
Источники напыленияИонные источники

НПП «УВН»

Подготовка и обработка поверхности

Ионные источники

Фокусированный или многоканальный пучок
Источники напыленияВакуумно-дуговые испарители

НПП «УВН»

Нанесение функциональных покрытий

Вакуумно-дуговые испарители

Торцевой или протяжённый катод
Источники напыленияБлоки управления БПА

НПП «УВН»

Управление дуговым разрядом

Блоки управления БПА

Один или два канала
Шлифовка и полировкаLP-401 / LP-402 / LP-604

Линейка из брошюры lapol.ru · изготовитель уточняется

Шлифовка и полировка

LP-401 / LP-402 / LP-604

Подбор абразива и суспензии
Шлифовка и полировкаPB-100 / MB-150 / MMB-150

Линейка из брошюры lapol.ru · изготовитель уточняется

Приклейка пластин

PB-100 / MB-150 / MMB-150

Ручной пресс
Шлифовка и полировкаДВ-150 / АДВ-150

Линейка из брошюры lapol.ru · изготовитель уточняется

Снятие пластин

ДВ-150 / АДВ-150

Ручное исполнение
Шлифовка и полировкаCMP-100

Линейка из брошюры lapol.ru · изготовитель уточняется

Химико-механическая полировка

CMP-100

Полировальный материал
Шлифовка и полировкаТМК 1 / ТМВ / IF-150 / GF-150 / AC-150

Линейка из брошюры lapol.ru · изготовитель уточняется

Контроль толщины и формы

ТМК 1 / ТМВ / IF-150 / GF-150 / AC-150

Контроль толщины
Шлифовка и полировкаАбразивы, суспензии и оснастка

Линейка из брошюры lapol.ru · изготовитель уточняется

Расходные материалы для полировки

Абразивы, суспензии и оснастка

Зерно и концентрация суспензии

Характеристики приведены для первичного подбора. Комплектация и параметры согласуются в техническом задании.

Начнём с вашей задачи

Найдём решение
для вашего процесса.

Расскажите о процессе, рабочем газе, расходе и требованиях к чистоте. Поможем подобрать оборудование и состав инженерных работ.

Обсудить проект