ТЕХНОЛОГИЧЕСКОЕ НАПРАВЛЕНИЕ
Вакуум и плазма
Оборудование для нанесения функциональных покрытий, травления и активации поверхности. Конфигурация камеры, источников и газовой системы определяется требованиями процесса.
Обсудить задачу ↗
СОСТАВ РЕШЕНИЯ
Ключевые процессы
01
Магнетронное напыление PVD
02
Плазмохимическое травление
03
Плазменная очистка
04
Вакуумные технологические модули
Оборудование направления
Полный каталог ↗Вакуум и плазма
НПП «УВН» · «Бета» · MagniFlex
Магнетронное напыление
«Бета» · системы PVD
Бета-500: зона 500×300 мм · 1–3 магнетрона
Вакуум и плазма
НПП «УВН» · подбор технологического решения
Лабораторные и кластерные системы
Плазмохимическое травление
TCP / CCP
Вакуум и плазма
НПП «УВН» · «Гамма» · MagniFlex
Оптические покрытия
«Гамма»
Гамма-700 / Гамма-900
Вакуум и плазма
НПП «УВН» · «Сигма» · DynaArc / RotArc
Функциональные покрытия
«Сигма»
Сигма-700 / Сигма-900
Вакуум и плазма
НПП «УВН» · «Омега»
Исследовательские вакуумные стенды
«Омега»
Индивидуальное техническое задание
Начнём с вашей задачи
Найдём решение
для вашего процесса.
Расскажите о процессе, рабочем газе, расходе и требованиях к чистоте. Поможем подобрать оборудование и состав инженерных работ.
Обсудить проект