НПП «УВН» · «Бета» · MagniFlex
«Бета» · системы PVD
Магнетронное напыление
Бета-500: зона 500×300 мм · 1–3 магнетрона
Бета-700: зона 700×350 мм · до 5 магнетронов
Предельное давление 1×10⁻⁴ Па · 3 газовых канала
Стоимость и срок поставки — после согласования комплектации.
ПОДБОР ОБОРУДОВАНИЯ
Конфигурация
под вашу технологию
Установки магнетронного напыления проводящих, резистивных и полупроводниковых плёнок на керамику, полупроводники, стекло и металл. «Бета-500» и «Бета-700» различаются размером рабочей зоны и количеством источников. Компоновка выбирается по слоям покрытия и загрузке.
Опции и варианты исполнения
- Двустороннее нанесение
- Ионная очистка
- Инфракрасный нагрев
- Резистивное испарение
Что необходимо для подбора
- Рабочая среда или материал, входные параметры и требования к результату.
- Требуемые режимы, производительность и критерии приёмки.
- Инженерные коммуникации и ограничения площадки.
КОНФИГУРАТОР ЗАПРОСА
Соберите исходные
требования
Параметры и опции попадут в заявку. Инженер проверит совместимость и подготовит комплектацию и предложение.
В этом направлении
Вакуум и плазма ↗
НПП «УВН» · подбор технологического решения
Лабораторные и кластерные системы
Плазмохимическое травление
НПП «УВН» · «Гамма» · MagniFlex
Оптические покрытия
«Гамма»
НПП «УВН» · «Сигма» · DynaArc / RotArc
Функциональные покрытия
«Сигма»
Начнём с вашей задачи
Найдём решение
для вашего процесса.
Расскажите о процессе, рабочем газе, расходе и требованиях к чистоте. Поможем подобрать оборудование и состав инженерных работ.
Обсудить проект