НПП «УВН» · подбор технологического решения
Плазмохимическое травление
Лабораторные и кластерные системы
TCP / CCP
Загрузка пластин и кассет
Интеграция в чистую зону
Стоимость и срок поставки — после согласования комплектации.
ПОДБОР ОБОРУДОВАНИЯ
Конфигурация
под вашу технологию
Плазменная обработка поверхности и травление материалов в вакууме. Выбор TCP или CCP, химии процесса и конструкции камеры зависит от слоя, профиля травления и требуемой селективности. Для новой задачи согласуются образцы и критерии испытаний.
Опции и варианты исполнения
- Газовая панель процесса
- Загрузочный шлюз
- Контроль параметров плазмы
- Отработка процесса на образцах
Что необходимо для подбора
- Рабочая среда или материал, входные параметры и требования к результату.
- Требуемые режимы, производительность и критерии приёмки.
- Инженерные коммуникации и ограничения площадки.
КОНФИГУРАТОР ЗАПРОСА
Соберите исходные
требования
Параметры и опции попадут в заявку. Инженер проверит совместимость и подготовит комплектацию и предложение.
В этом направлении
Вакуум и плазма ↗
НПП «УВН» · «Бета» · MagniFlex
Магнетронное напыление
«Бета» · системы PVD
НПП «УВН» · «Гамма» · MagniFlex
Оптические покрытия
«Гамма»
НПП «УВН» · «Сигма» · DynaArc / RotArc
Функциональные покрытия
«Сигма»
Начнём с вашей задачи
Найдём решение
для вашего процесса.
Расскажите о процессе, рабочем газе, расходе и требованиях к чистоте. Поможем подобрать оборудование и состав инженерных работ.
Обсудить проект